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分類
電阻法碳化矽晶體生長設備
UK-T8
1、完美解決了感應爐徑向溫度梯度大的技術難點,可實現徑向溫度梯度小和軸向溫度梯度可控,晶體內部缺陷少, 良率高、重複性好;2、與傳統工藝長達7-14天的晶體生長周期相比,UKING ERH SiC RV1.0設備晶體生長速度更快,整個過程可控製在7天之內;3、 自動化程度高,操控簡單,有利於批量生產,提高晶體生長效率和穩定性。
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